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Arce, R.
Amorphous silicon carbide films prepared by PECVD under hydrogen dilution and high excitation frequency
En: Anales de la Asociación Química Argentina / Asociación Química Argentina. -- Vol. 84, no. 1 (ene-feb, 1996). -- Buenos Aires : Asociación Química Argentina, [s.f.]
ISSN: 03650375
1. CARBURO DE SILICIO AMORFO; 2. PECVD I. Koropecki, R. R. II. Buitrago, R. H. III. Cutrera, M. IV. Battioni, M.